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近日，電科裝備中電科風(fēng)華公司聯(lián)合承擔(dān)的山西省科技重大專項(xiàng)計(jì)劃“揭榜掛帥”項(xiàng)目——G10.5超大尺寸顯示面板智能化切割關(guān)鍵技術(shù)及裝備研發(fā)項(xiàng)目通過驗(yàn)收。
該項(xiàng)目聚焦硬脆材料精密切割核心工藝，突破了高精度對(duì)刀切割、AOI智能缺陷檢測(cè)、智能產(chǎn)線系統(tǒng)集成等關(guān)鍵技術(shù)，成功研發(fā)出國(guó)內(nèi)首臺(tái)G10.5超大尺寸顯示面板智能化切割生產(chǎn)線。“該項(xiàng)目各項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)均達(dá)行業(yè)領(lǐng)先水平，形成了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的成套工藝裝備與數(shù)字化管控體系，為國(guó)產(chǎn)超大尺寸顯示面板制造提供了關(guān)鍵技術(shù)支撐。”項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、電科裝備中電科風(fēng)華公司切割事業(yè)部總經(jīng)理李大偉表示。
該項(xiàng)目已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化落地，批量應(yīng)用于國(guó)內(nèi)電子行業(yè)頭部企業(yè)，面板切割良品率達(dá)99.9%以上。“我們成功研發(fā)出國(guó)內(nèi)首臺(tái)G10.5超大尺寸顯示面板智能化切割生產(chǎn)線，已累計(jì)出貨10臺(tái)套，為G10.5高端顯示裝備國(guó)產(chǎn)化替代提供了關(guān)鍵支撐，有力保障了我國(guó)半導(dǎo)體顯示產(chǎn)業(yè)的自主創(chuàng)新與高質(zhì)量發(fā)展。”李大偉表示。
據(jù)悉，該項(xiàng)目實(shí)施期間，共申請(qǐng)發(fā)明專利10項(xiàng)、軟件著作權(quán)5項(xiàng)，參與修訂國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)1項(xiàng)。
